半导体工厂施工组织设计 - 图文(16)

规格 工业纯 工业纯 专用 适用于清洗洁净厂房用 长纤维适用于清洗洁净厂房用 厚=0.1mm 宽=50mm，厚=0.1mm 无残留杂质、中性 备注 封堵风管用

48

? 风管漏风量检测

主厂房空调风管需经过严格的测试。本项目中，我单位除做一般的漏光检测外，还将将推行更严格的风管漏风量检测方法，以严格确保工程的施工品质。 1）基本原理

在理想状态下向一个密闭容器注入气体，保持容器内压力恒定，此时注入的气体流量与密闭容器的泄漏量相等。 2）检测原理

将漏风检测仪风机的出风口用软管连接到被测试的风管上，该段风管除和测试装置用软管连接以及从上面引出一根风管测压管外，其余接口均应堵死。当启动漏风检测仪并逐渐提高风机转速时，通过软管向风管中注风，风管内的压力也会逐步上升。当风管达到所需测试的压力后，调检测仪的风机转速，使之保持风管内的压力恒定，这时测得风机进口的风量即为被测风管在该压力下的漏风量。 3）测试仪器性能参数 型号：Q89

测试漏风量范围：3Lm/s~132Lm/s 测试压力范围：0～2000Pa 漏风仪电机转速：0～10000r/min

本漏风测试仪提供4中规格的进口流量管（A、B、C、D），各规格测试流量分别为： A型：30L/S~132L/S B型：20L/S~80L/S C型：10L/S~42L/S D型：3L/S~16L/S

测试时，根据风管大小进行漏风量估计，选择一个合适的流量管。如果漏风仪所提供的四种流量管达不到所要求的测试压力值，根据规范可以降低测试压力，通过换算公式计算，得出要求测试压力下的漏风量。

（2）PVC风管施工工艺和技术要求 本工艺适用于本工程的酸碱排风系统。

? PVC风管焊接采用转速1000rpm，吹风速度75~125mm/min的焊机。焊接时板材要求对接端刨切，

刨切后两板水平对接，要求切角为60°~90°；

? 板材用加热棒折弯，不可以出现烤焦、烤黄的现象，熔接缝应避免出现横向接缝，且接缝应尽

3

3

49

可能减少，接缝处不应在风管的四角；

? 矩形风管的马口连接处加设加强板，加强板的厚度与主风管一致。从矩形风管接出的圆形干支

管则采用45°立板焊接来加固；

? 酸排气的风管在最低点和向上弯头的下端面设积水槽下面，用20A的透明塑料管焊接到积水槽

下面，并在透明塑料管上加设2个阀门，用以排除风管的酸性液体；

? PVC风管的支吊托架应有防腐处理，除酸、碱排气允许最大间距为4m外，其他排气的支吊托架

在风管大边小于2m时为2.4m，大于2m时为1.8m。 （3）FFU及高效过滤器的安装

? FFU及高效过滤器的安装时间必须严格控制，必须在洁净室和净化空调系统施工安装完毕，进

行全面清扫并运行24小时后，方可安装。

? FFU及高效过滤器在运输和存放期间，应根据出厂标记竖向搁置，应小心轻放，并防止剧烈震

动和碰撞，以免损坏。

? 高效过滤器在安装时方可从保护袋中取出，并应认真检查滤纸、密封胶和框架有无损坏。若有

损坏应进行修补，损坏严重现场无法修补者，应予更换，在安装过程中，任何情况均不得用手和工具触摸滤纸。

? 高效过滤器安装时，应注意外框上的箭头与气流方向一致。当其竖向安装时，其波纹板应垂直

于地面，以免滤纸损坏。

? 高效过滤器的安装框架应平直，接缝处应平整，以保证在同一平面上。 ? 高效过滤器与其安装框架之间，必须垫密封垫。 ? 高效过滤器安装就位后必须进行检漏、堵漏。 ? FFU及吊顶龙骨示意图：见附图

型龙骨断面图

50