77. ISO14644国际标准(中文版)(3)

的流量）这一选择的依据是： a) Vs >2L(见B4.2.2) b) Cn.m >20pc/m3(见B.4.2.1) c)采样时间>1分钟(见B.4.2.2) D．1．6

在各采样点，只取一次采样量（28升）（B.4.2.1）。测量中得到的计数记录如下（B.5.1.1）。

采样点 1 2 3 4 5 6 7 8 9

D．1．7

按原始数据（D．1．6）计算粒子pc/m3，Xi ：

采样点 1 2 3 4 5 6 7 8 9

Xi≥0.3μm 8750 6607 2107 3786 5857 7000 8071 8000 6964

Xi≥0.5μm 750 857 0 250 786 893 821 1321 679

粒子数（≥0.3μm）

245 185 59 106 164 196 226 224 195

粒子数（≥0.5μm）

21 24 0 7 22 25 23 37 19

0.3μm和0.5μm计算出的浓度值均低于D．1．3中确定的限值，满足了等级的第一部分（B．6．1）要求，因此可以按附录C进行95%的置信上限的计算。 D．1．8

按公式（C．1）计算平均浓度（见C．2）是不适用的，因为采集的量是单次采样量，代表各个点的平均粒子浓度。平均值的总均值要按公式（C．2）计算（见C．3．2）。 ≥0.3μm的粒子：

X=

1

9[8750+6607+2107+3786+5857+7000+807+8000+6964] =1

9

×57142

=6349.1 四舍五入为6349 pc/m3 ≥0.5μm的粒子：

X=

1

9[750+857+0+250+786+893] =1

9×6357

=706.3 四舍五入为706 pc/m3 D．1．9

按公式（C.3）计算采样点平均值的标准误差（见C.3.3）。 ≥0.3μm的粒子：

(8750 6349)2+(6607 6349)2+(2107 6349)2 S2=1 8 +(3786 6349)2+(5857 6349)2+(7000 6349)2 +(8071 6349)2+(8000 6349)2+(6964 6349)2

=1

8

×37130073

=4641259

S=4641259 =2154.4

四舍五入为 2154pc/m3 ≥0.5μm的粒子：

(750 706)2+(857 706)2+(0 S2= 706)21

8 +(250 706)2+(786 706)2+(893 706)2 +(821 706)2+(1321 706)2+(679 706)2

=1

8

×1164657

=145582

S= =381.6

（D.5）

（D.6）

（D.7）

(D.8)

（D.9）

(D.10)

四舍五入为 382pc/m3 D．1．10

按公式（C.4）计算95%置信上限(UCL)（见C.3.4）.单个平均值采样点数m=9,取自表C.1中的分布系数t=1.9。

2154

95%UCL(≥0.3µm)=6349+1.9

9

=7713.2

四舍五入为 7713pc/m3

(D.11)

382

95%UCL(≥0.5µm)=706+1.9 9

=947.9

四舍五入为 948pc/m3 D．1．11

(D.12)

按B.6.1对结果进行整理。在D.1.7中各单次采样量的粒子浓度低于规定的等级限值。在D.1.10中，计算出的95%置信上限值同样低于在D.1.3中规定的等级限值。 因此，该洁净室的悬浮粒子洁净度符合要求的级别。 D．2 实例2 D．2．1

本示例目的在于证实95%UCL的计算对结果的影响。

某一洁净室规定悬浮粒子洁净度为ISO 3级，动态，采样点数定为5个。由于采样点数多于1个，少于10个，应按附录C计算95%置信上限。 只考虑一种粒径（D≥0.1μm）。 D．2．2

ISO 3级，粒径≥0.1μm，从表1中取粒子浓度限值：

Cn（≥0.1μm）= 1000 pc/m3

D．2．3

在各采样点仅单次采样，按（B.5.1.1）记录各点的粒子浓度Xi pc/m3，并记录如下。 采样点 Xi≥0.1μm 1 926 2 958 3 937 4 963 5 214

D=0.1μm时各粒子浓度值小于D.2.2中确定的限值。这个结果满足了等级的第一部分（B.6.1），因此可以按附录C进行95%置信上限的计算。 D．2．4

平均值的总均值要按公式（C.2）计算(见C.3.2)。

1

(926+958+937+963+214)51

=×3998

5

=799.6取800pc/m3

X=

(926 800)2+(958 800)2+ 1 22 S2= (937 800)+(963 800)+

4 2 ()214800 1

=×429574

4

=107393.5

D．2．5

(D.13)

按公式（C.3）计算采样点平均值的标准误差（见C.3.3）：

四舍五入为107393 （D.14）

S= =327.7

四舍五入为328 pc/m3 D．2．6

按公式（C.4）计算95%置信上限(UCL)(见C.3.4)： 单个平均值m=5,取自表C.1中的分布系数t=2.1

(D.15)

328

95%UCL=800+2.1

5

=1108pc/m3

D．2．7

(D.16)

各单次采样量的粒子浓度低于规定的等级限值（D.2.2）。

但是，95%置信上限的计算表明该洁净室悬浮粒子洁净度不符合规定的级别。 本示例说明按95%UCL的计算结果，一个单采样的界外低粒子浓度（即采样点5）所造成的影响。

由于空气洁净度的等级之不相符性是因采用了95%UCL，并由一个单次采样的低粒子浓度造成，可按照B.6.2中的程序确定该不相符性是否可以作废不计。

附录E

（资料部分）

对等级表粒径之外的粒子之粒径和计数的考虑

E．1 通则

在某些情况下，特别是与具体工艺要求相连的情况下，可以依据等级表粒径范围之外的粒子群体规定另外适用的空气洁净度级别。用户和供应商应就这类粒子的最大允许浓度和选择验证相符性的测试方法等问题达成协议。在E．2（U描述符）和E．3（M描述符）中给出了关于测试方法和规定的技术要求形式的考虑。

E．2 小于0.1μm的粒子（超微粒子）的评价——U描述符 E．2．1 应用

如果要评定小于0.1μm的粒子造成的污染危险，应采用适合于这类粒子具体特性的采样装置和测量程序。

应该按照B．4．1确定采样点的数目，最小采样量Vs应为2L（B.4.2.2） E．2．2 U描述符的形式

U描述符的超微粒子浓度可以单独应用，或者是作为悬浮粒子洁净度级别的补充来应用。U描述符用“U（x;y）”的形式表示，其中，

x——超微粒子的最大允许浓度（以超微粒子pc/m3空气表示）；

y——以微米计的粒径的，用适宜的离散粒子计数器对这种粒子数计数时，计数效率为50%。

实例 如粒径范围为，最大允许超微粒子的浓度为140000 pc/m3，其标识符为“U（140000；0.1μm）”。

注1 在IEST-G-CC1002[1]中给出了小于0.1μm的悬浮粒子浓度测试方法。

注2 如果用U描述符作为悬浮粒子洁净度级别的补充，超微粒子的浓度（x）不得小于规定的ISO等级之0.1μm被考虑粒径适用的粒子浓度限值（pc/m3）。

E．3 大于5μm的粒子（大粒子）的评价——M描述符 E．3．1 应用

如果要评定大于5μm的粒子造成的污染危险，应采用适合于这类粒子具体特性的采样装置和测量程序。

悬浮粒子群体中的大粒子主要是在工艺环境中释放出的粒子。应该根据具体的应用来确定适用的采样装置和测量程序。需要考虑的因素有粒子的密度、形状、容积和空气动力特性。还可能需要特殊强调的在总悬浮粒子中的特殊成份，如纤维。 E．3．2 M描述符的形式

M描述符可以单独应用，或者是作为悬浮粒子洁净度级别的补充来应 …… 此处隐藏：1548字，全部文档内容请下载后查看。喜欢就下载吧 ……