丝网印刷作业指导书(4)

注意事项 防护用品

必须保证天平台面整洁

注意事项 防护用品 所需工具

电子天平 所需工具 操作步骤：将硅片放置对应机台进行印 刷。印刷后将硅片再次放入玻璃门内称 重。读数稳定后，记录下增重值。

操作步骤：称重结束后，将硅片取出， 放置在对应工序后的传输带上。每一道 都按此方法称重，每隔两小时一次，一 次三片。

注意事项 防护用品 所需工具

读数稳定后方可读数

注意事项 防护用品 所需工具

操作步骤：

注意事项 防护用品 所需工具

注意事项 防护用品 所需工具

操作步骤：

注意事项 防护用品 所需工具

注意事项 防护用品 所需工具

操作步骤：

注意事项 防护用品 所需工具

注意事项 防护用品 所需

工具

16 / 25

丝网印刷工序作业指导书

SRPV-ZY-GY-005

A/0

背极印刷偏移测量调整操作指导书文件名称： 文件编号： 文件版本号： 作业名称： 作业版本号： 制作部门： 丝网印刷工序作业指导书 SRPV-ZY-GY-005 A/0 背极印刷偏移测量调整操作指导书 A/0 工艺技术部操作步骤：更换网版、软件重启、电机 复位后、开机等情况下需用游标卡尺进 行测量背电极印刷是否偏移。先从盒子 中取出游标卡尺。

制定人： 审核人： 批准人： 发布日期 适用范围： 页码：

王道发 张伟 黄治国 2011/4/1 丝网印刷车间 1/2操作步骤：打开数显，按红色“on/off ”打开数字显示功能。

注意事项 防护用品

注意事项 防护用品 所需工具

游标卡尺 操作步骤：按黄色键清零。按绿色单位 键切换单位，使屏幕显示“mm”。所需工具

操作步骤：从印刷后的传输皮带上取下 印刷好的硅片，待测。

注意事项 防护用品 所需工具

注意事项 防护用品 所需工具

佩戴PVC手套

操作步骤：先测量右上角电极边缘与硅 片边缘的距离，然后测量左上角电极边 缘与硅片边缘的距离，若无差值，则不 需调节T轴；若有，则需调节T轴。

操作步骤：调节T轴时，需按照印刷机 台上标识： 若需网版顺时针调整角度，“-”; 若需网版逆时针调整角度，“﹢”。

注意事项 防护用品 所需工具

卡尺必须贴实硅片边缘

注意事项 防护用品 所需工具

操作步骤：进入菜单“22-Print Parameters”,在“Theta”中调整数 值。调节至再次测单根背极两端边缘到 硅片边缘的距离无差值。

操作步骤：如图测量中间电极上边缘与 硅片边缘的距离，读取数值Y1。

注意事项 防护用品 所需工具

注意事项 防护用品 所需工具

卡尺必须贴实硅片边缘

操作步骤：硅片旋转90°,测量下方中 间背电极下边缘与硅片边缘的距离，读 取数值Y2。

操作步骤：调节Y轴时，需按照印刷机 台上标识： 若需网版向前移动，“-”; 若需网版向后移动，“﹢”。

注意事项 防护用品 所需工具

卡尺必须贴实硅片边缘

注意事项 防护用品 所需工具

操作步骤：若Y1>Y2,在Y中减去1000 (Y1﹣Y2)/2;若Y1<Y2,在Y中加上 1000(Y2﹣Y1)/2。

操作步骤：测量X轴偏差,如图所示测量 右上角电极边缘与硅片边缘的距离。读 取数值“X1”。

注意事项 防护用品 所需工具

注意事项 防护用品 所需工具

卡尺必须贴实硅片边缘

17 / 25