静电敏感区域的人员防静电安全技术规范
静电敏感区域的人员防静电规范
1.1. 各类人员的防静电知识培训要求及职责:
有可能进入静电敏感区域的人员或有可能接触静电敏感器件的人员都应接受防静电知识培训,这既是对每位员工的基本要求,也是减少静电危害的根本方法
和途径之一。
1.1.1.
所有新员工在接受入厂培训时,必须接受ESD知识的培训。课程包括至少2小时的理论知识培训和简要讲解本规范内容。培训结束后,由人力资源部组织ESD的考试,合格者才能上岗。
1.1.2. 所有在职工人和ESD委员、PE部、测试部、生产部的职员和相关人员必须每年接受不少于2小时的ESD知识再培训。培训内容包括介绍ESD的新技术,新规范等。
1.1.3. 在静电敏感区域内工作的生产人员及与静电敏感器件有直接或间接接触(包括静电感应)的作业人员,必须接受ESD基本知识和防静电工艺规程操作要求的培训,作为上岗考核的必考内容之一。考核不合格者不得安排在有防静电要求的岗位工作。
1.1.4. 工艺人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训,掌握电子工业产品的防静电工艺技术,在生产过程中指导生产作业人员落实防静电措施,并对他们进行静电防护日常教育。
1.1.5. 品质控制管理人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训,熟悉各类ESSD的静电敏感性能及其防护知识,监督防静电工艺规程的贯彻执行,评估防静电工程实施效果。
1.1.6. 采购部和市场部人员必须接受ESD基本知识培训,熟悉ESSD的品种、型号、标志方法和静电防护常识,严格遵守物料或产品在采购和运输过程中静电防护的规范。
1.1.7. 1.1.8.
仓储,转运人员必须接受ESD基本知识培训,懂得在储存和转运过程中防护ESSD静电器件及相关的存放操作要求。
检验和试验人员(包括外购件入厂检验试验和产品检验人员)必须接受较为ESD专业知识培训,熟练掌握ESSD的检测知识和防静电器件的检测方法,严格按设计技术文件要求和工艺规程进行检验和试验。
1.1.9. 设备部负责防静电接地和布生产线的人员,应接受较为专业的ESD知识培训,熟悉防静电接地系统要求,掌握地桩、地线、及其它防静电设施的敷设或安装。
1.1.10. 生产管理人员应了解ESD基本知识,严格按静电敏感器件的设计文件要求和
工艺规程组织生产,并开展对生产员工的静电防护日常教育。
1.1.11. 计量部门也应了解ESD基本知识,尤其是关于防静电仪器的校验知识,要定
期调校防静电检测器材,保证其安全、有效。
1.2. 人体静电防护系统: 1.2.1.
防静电工作服:
1.2.1.1. 防静电工作服是指为防止静电荷积累,用防静电织物作为面料而制成的工作
服,样式有连体式、分体式等。防静电工作服主要用来泄放人体高绝缘性能
的服装所产生的静电或减少人体静电产生。
1.2.1.2. 防静电工作服的主要技术指标如下表所示: 技术指标 带电量 耐洗涤时间 A级 <0.6μC/件 ≥33.0h B级 <0.6μ C/件 ≥16.5h 实验方法 按GB12014-89附录A 按GB12014-89附录B 所选用面料的主要性能参数如下所示: 等级 指标 项目 表面电荷密度(μC/㎡) 表面电阻(Ω) 静电半衰期(S) 摩擦静电压(V) 1.2.1.3. 防静电服使用要求:
1.2.1.4. 应根据所制造或操作的ESSD的静电敏感度的不同,选用不同等级的防静电
A ≤1.0 ≤10 ≤0.1 ≤100 5B ≤3.0 ≤10 ≤0.5 ≤250 7C ≤5.0 ≤10 ≤1.6 ≤400 9D ≤7.0 ≤10 ≤4.0 ≤600 11布料和防静电工作服。
1.2.1.5. 进入防静电区域的人员必须按规定穿防静电大褂衣,夹克衣或防静电连体服,
严禁穿一般合成纤维工作服。
1.2.1.6. 大褂衣和夹克衣可在普通防静电工作区域使用。对于防静电要求特别高的场
所,如无尘室高精密电子产品装联车间或实验室,作业人员必须穿连体衣,同时还需戴上口罩、手套。
1.2.1.7. 防静电衣必须在更衣室更换,不允许在ESD区域穿或脱防静电衣。 1.2.1.8. 禁止在防静电衣上附加或佩带与工作无关的金属物品或装饰品。
1.2.1.9. 不能把非防静电衣的衣领翻出盖住防静电衣的衣领防静电衣的拉链拉满后,
须将上下两颗扣子均扣好非防静电衣的长度不能长过静电衣不准将防静电衣的袖子挽起不准将手表、手饰等与工作无关的装饰物品露出防静电衣外。
1.2.1.10. 防静电大褂衣和夹克衣,应保持清洁,工作服的洗涤应尽量采用简易方法进
行,要避免受到较强的机械和化学操作的洗涤。
1.2.1.11. 防静电工作服应在首次穿用前作防静电性能检测,只有测试合格方可投入使
用,穿用一定时期后应对其防静电性能进行复测,防静电大褂衣和夹克衣每半年应做一次防静电特性复测,对于检测不过关的防静电大褂衣和夹克衣应停止使用,更换新的。
1.2.1.12. 仓库在收到新的防静电衣时,通知测试部ESD工程师对防静电服的静电电
压进行检测。检测数量为抽样来料的5%若抽样数低于2件,则抽取2件。
检测方法为:用防静电服的塑料包装袋快速连续磨擦防静电衣的同一部位4~5秒,然后用静电场表测试被磨擦部位的静电电压,数值小于等于0.1kv为合格,否则为不合格。如果该批防静电衣有一件测试不合格,则拒收。除上述方法外,被抽测的静电衣还应被洗4小时后再做以上测试。如果静电衣的表面电阻率仍在106-109 ohm之间且经磨擦后的静电电压仍小于等于0.1 Kv,则为合格,否则为不合格。
1.2.1.13. 防静电服的检测:
1.2.1.14. 我们公司目前使用的防静电夹克衣和防静电大褂衣,主要是测试它的摩擦电
压和表面电阻率这两个指标。
1.2.1.15. 检测指标:表面电阻率和摩擦静电压。 1.2.1.16. 检测标准:1*10至1*10Ω/口0.1 Kv。 1.2.1.17. 检测仪器:兆欧表和静电电压表。 1.2.2.
6
9
防静电帽:
不能露出防静电帽外后脑部分的短细的头发不能超过防静电衣领外。
1.2.2.1. 防静电帽的相关规定请参照防静电服。防静电帽应正确佩戴,帽沿朝前头发1.2.3.
防静电工作鞋:
间等对防静电要求较高的场合,作业人员必须穿防静电鞋,经过测试合格后,方可进入静电敏感区域工作。测试步骤如下:
1.2.3.1. 在生产半导体和集成电路的洁净室和超洁净室,以及高精密电子产品的装配
1.2.3.1.1. 将转换开关拔到左边“FOOT WEAR”档,双脚站在白色不锈钢脚板区域,如下
图一。按住“PRESS TO TEST”键,此时,左边(LEFT)指示即为左脚穿上鞋后的对地电阻,右边(RIGHT)指示为右脚穿上鞋后的对地电阻,如下图二。如绿灯亮则表示电阻合格。
图一 图二 1.2.3.2. 防静电工作鞋每半年应做一次防静电特性检测,对于检测不过关的防静电工
作鞋应停止使用,更换新的。
1.2.3.3. 检测指标:体积电阻率和摩擦静电压。 1.2.3.4. 检测标准:0.5*105—1*108 Ω 和0.10kv。
1.2.3.5. 检测仪器:体积电阻率—兆欧表 ,摩擦静电压—静电电压表。 1.2.3.6. 防静电鞋的使用要求:
1.2.3.6.1. 为使人体有效接地、防止人体和鞋本身带电,并保证操作者因意外接触高电
压时不致受到伤害,除应将车间地面做成防静电地面以外,操作者还应穿用防静电鞋,而且防静电鞋必须与防静电衣配套使用,同时防静电鞋底应具有使人体与大地构成回路的材料和结构。
1.2.3.6.2. 穿防静电鞋时不得穿袜子, …… 此处隐藏:3431字,全部文档内容请下载后查看。喜欢就下载吧 ……
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